日本PASCAL TOFLAS-3000 原子散乱表面分析仪

世界首创！

采用电中性原子束，可以在电场或磁场中分析绝缘体的表面和原位分析(in situ analysis)。

离子散射光谱（ISS），尤其是同轴碰撞离子散射光谱（CAICISS），是一种强大的半导体和金属表面结构分析方法，但绝缘体表面由于入射离子的充电效应，很难进行可靠的分析。

Pascal Co., Ltd. 引用这种 CAICISS 方法，进一步开发了飞行时间型原子散射表面分析仪，它使用电中性原子束代替离子作为入射探针，可以分析各种材料表面的成分和原子排列。

技术参数

·加热范围：                 ~1000 ℃

·能适应广泛的基底材料背景

·不适合高氧气分压环境

·激光加热最高：             ~1300 ℃

·独特的耐高温能力

·直径：                    φ10mm

·灯丝加热：                ~600 ℃

产品优势

-表面结构可视觉直观评估
-完全不受电场和磁场影响in-situ 分析
-单一原子层或结晶尺度的成长监测
-薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属
-zui表面数层非常灵敏