日本PASCAL品牌 TOFLAS-3000 原子散乱表面分析仪

界首创!

采用电中性原子束,可以在电场或磁场中分析绝缘体的表面和原位分析(in situ analysis)。


离子散射光谱(ISS),尤其是同轴碰撞离子散射光谱(CAICISS),是一种强大的半导体和金属表面结构分析方法,但绝缘体表面由于入射离子的充电效应,很难进行可靠的分析。

Pascal Co., Ltd. 引用这种 CAICISS 方法,进一步开发了飞行时间型原子散射表面分析仪,它使用电中性原子束代替离子作为入射探针,可以分析各种材料表面的成分和原子排列。


技术参数

·加热范围:                 ~1000 ℃

·能适应广泛的基底材料背景

·不适合高氧气分压环境

·激光加热最高:             ~1300 ℃

·独特的耐高温能力

·直径:                    φ10mm

·灯丝加热:                ~600 ℃

 

产品优势

-表面结构可视觉直观评估
-完全不受电场和磁场影响in-situ 分析
-单一原子层或结晶尺度的成长监测
-薄膜, 超薄膜, 单层薄膜, 石墨烯 …等绝缘, 半导体 & 金属
-zui表面数层非常灵敏

产品

创新材料研发必备的仪器设备含: 真空溅镀激光分子束外延系统;反射式静态和动态超高速记录动态三维形貌显微镜...

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展望

引进尖端专业高科技分析仪器设备的使命, 如; 薄膜成长 PLD-MBE、分析检测设备用在光电、生物、半导体感测组件、与自动化感测组件...

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